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Tetraethyl Orthosilicate (TEOS)

Chemical Formula: Si(C₂H₅O)₄

Molecular Weight: 208.33

Physical & Chemical Properties

Appearance: apparently colorless liquid

Melting point: -77 ℃

Boiling point: 169 ℃

Relative density: 0.9346 g/ml

Stable in air. Slightly soluble in water. Hydrolyze very slowly in pure water. Acid or base can speed up its hydrolyzation.

Applications

Primarily used in the chemical vapor deposition (CVD) process of wafer fab to form Silicon Dioxide (SiO₂) film.

An important electronic chemical needed for the manufacturing of semiconductors, discrete devices and MEMS products.

Product		8N
Purity (based on metals analyzed), min		99.999999%
（Al）max	0.2 ppb	（Mn）max	0.1 ppb
（Ag）max	0.1 ppb	（Mo）max	0.1 ppb
（As）max	0.4 ppb	（Na）max	0.5 ppb
（Au）max	0.1 ppb	（Nb）max	0.1 ppb
（B）max	0.5 ppb	（Ni）max	0.2 ppb
（Ba）max	0.1 ppb	（Pb）max	0.1 ppb
（Be）max	0.1 ppb	（Sb）max	0.1 ppb
（Bi）max	0.1 ppb	（Sn）max	0.2 ppb
（Ca）max	0.5 ppb	（Sr）max	0.1 ppb
（Cd）ma	0.1 ppb	（Th）max	0.1 ppb
（Ti）max	0.1 ppb	（W）max	0.1 ppb
（U）max	0.1 ppb	（Zn）max	0.2 ppb
（V）max	0.1 ppb	Cl- max	0.5ppm
（Co）max	0.4 ppb	Water max	5 ppm
（Cu）max	0.2 ppb	Ethanol max	3 ppm
（Cr）max	0.2 ppb	Parricles≥0.1µm max	50 p/ml
（Fe）max	0.2 ppb	Parricles≥0.2µm max	30 p/ml
（Zr）max	0.1 ppb	Parricles≥0.3µm max	20 p/ml
（Ga）max	0.4 ppb	Parricles≥0.5µm max	10 p/ml
（Hg）max	0.3 ppb	Parricles≥1.0µm max	3 p/ml
（K）max	0.2 ppb	Chroma max	10 APHA
（Li）max	0.1 ppb	Assay min	99.99%
（Mg）max	0.5 ppb	Shelf life	24 months

Product		9N
Purity (based on metals analyzed), min		99.9999999%
（Al）max	0.1 ppb	（Pb）max	0.1 ppb
（Ag）max	0.1 ppb	（Pd）max	0.05 ppb
(As) max	0.1 ppb	（Pt）max	0.05 ppb
（Au）max	0.1 ppb	（Rb）max	0.05 ppb
（B）max	0.5 ppb	（Re）max	0.05 ppb
（Ba) max	0.1 ppb	（Rh）max	0.05 ppb
（Be）max	0.05 ppb	（Sb）max	0.05 ppb
（Bi）max	0.05 ppb	（Sn）max	0.05 ppb
（Ca）max	0.2 ppb	（Sr）max	0.05 ppb
（Cd）max	0.05 ppb	（Ta）max	0.05 ppb
（Ce）max	0.05 ppb	(Th) max	0.05 ppb
（Co）max	0.1 ppb	（Ti）max	0.05 ppb
（Cu）max	0.1 ppb	（Tl）max	0.05 ppb
（Cr）max	0.1 ppb	（U）max	0.05 ppb
（Fe）max	0.2 ppb	（V）max	0.05 ppb
（Ga）max	0.05 ppb	（W）max	0.05 ppb
（Ge）max	0.05 ppb	（Zn）max	0.1 ppb
（Hf）max	0.05 ppb	（Zr）max	0.05 ppb
（Hg）max	0.05 ppb	Cl- max	50 ppb
（In）max	0.05 ppb	Water max	5 ppm
（Ir）max	0.05 ppb	Ethanol max	3 ppm
（K）max	0.2 ppb	Parricles ≥0.1µm max	50 p/ml
（Li）max	0.05 ppb	Parricles ≥0.2µm max	10 p/ml
（Mg）max	0.1 ppb	Parricles ≥0.3µm max	7 p/ml
（Mn）max	0.1 ppb	Parricles ≥0.5µm max	5 p/ml
（Mo）max	0.05 ppb	Parricles ≥1.0µm max	1p/ml
（Na）max	0.1 ppb	Assay min	99.99%
（Nb）max	0.1 ppb	Chroma max	10APHA
（Ni）max	0.2 ppb	Shelf life	24 months

Container: Stainless Steel Cylinder.

Packaging: Stainless Steel Cabinet.

Fill volume: 2 gallons,5 gallons (19 L),10 gallons, 200 L.